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TESCAN AMBER 鎵離子雙束掃描電鏡


 

 

 




半導(dǎo)體和微電子

TESCAN AMBER 是一款雙束(FIB-SEM)聚焦掃描電鏡系統(tǒng)系統(tǒng),可以滿足現(xiàn)今工業(yè)研發(fā)和學(xué)術(shù)界研究的所有需求,在提供良好的圖像質(zhì)量的同時(shí),可完成復(fù)雜的納米操作并保證高精度和操作靈活性。

TESCAN AMBER 配置了新的 BrightBeam? 鏡筒,真正的無磁場(chǎng)超高分辨(UHR)可以最大化的實(shí)現(xiàn)各種分析,包括磁性樣品的分析,以及在 FIB 操作時(shí) SEM 的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。另一方面,創(chuàng)新的 Orage? FIB 鏡筒配有先進(jìn)的離子光學(xué)系統(tǒng)和氣體注入系統(tǒng),使得 TESCAN AMBER 成為了先進(jìn)的樣品制備和納米加工的儀器。

模塊化、基于工作流的軟件確保了在所有應(yīng)用中都能最大程度進(jìn)行操控,不需要在復(fù)雜的技術(shù)之間進(jìn)行取舍,用戶界面友好。因而 TESCAN AMBER 是FIB-SEM應(yīng)用的理想選擇,也是所有追求日??茖W(xué)和技術(shù)突破的人士的理想分析平臺(tái)。

主要特點(diǎn)

創(chuàng)新的 BrightBeam?SEM 鏡筒技術(shù),實(shí)現(xiàn)真正的超高分辨(UHR)
? 新的 BrightBeam?SEM 鏡筒,電磁-靜電復(fù)合物鏡,配置 70°極靴 ;
? 無磁場(chǎng)超高分辨成像,可以最大化的實(shí)現(xiàn)各種分析,包括對(duì)磁性樣品的分析;
? 先進(jìn)的多種探測(cè)器,包括透鏡內(nèi)軸向探測(cè)器(In-Beam Axial detector )以及多控制器,可選擇不同角度和不同能量來收集信號(hào),更好的表面靈敏度和對(duì)比度,可以看得更細(xì)致,觀察更深入;
? 新型場(chǎng)發(fā)射肖特基電子槍的最大束流可達(dá)到 400 nA,同時(shí)可實(shí)現(xiàn)電子束能量的快速改變;
? 新一代電路系統(tǒng)可同時(shí)支持多達(dá) 8 個(gè)實(shí)時(shí)信號(hào)通道
? EquiPower? 透鏡技術(shù)可實(shí)現(xiàn)高效的散熱并保證電子鏡筒的穩(wěn)定性;
? 電子束減速技術(shù)(BDT)進(jìn)一步加強(qiáng)了低電壓下的分辨率,并能同時(shí)探測(cè) SE 和 BSE 信號(hào)(選配);

創(chuàng)新的 Orage? Ga FIB 鏡筒可完成具有挑戰(zhàn)性的納米工程任務(wù)
? 創(chuàng)新的 Orage? Ga FIB 鏡筒保證良好的離子分辨率,30 kV 分辨率優(yōu)于 2.5 nm ,最低電壓可達(dá) 500 V;
? 優(yōu)秀的低壓樣品制備能力可以快速制備無損超薄 TEM 樣品;
? FIB 束流最大可達(dá)100 nA,SmartMill 級(jí)別的高速切割進(jìn)行截面處理和薄片取出使得加工效率提升了一倍;
? 快速的 FIB 納米重構(gòu)技術(shù),輕松了解樣品的超微觀信息;
? 采用新型 OptiGIS 氣體注入系統(tǒng),可快速啟動(dòng),沉積/蝕刻穩(wěn)定性極好,一臺(tái)儀器最多安裝6個(gè) OptiGIS;
? 無漏磁 SEM 成像和高速 FIB 相結(jié)合,可以快速不間斷地完成銑削/連續(xù)成像,適用于 TEM / 原子探針樣品制備或 FIB-SEM 斷層掃描。